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产品分类
产品简介
产品特性
清洗时间短，无溅射损伤和高温损伤
完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修
可实现MES系统传输(选配)
设备参数分级管理，提高操作安全性
屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控
主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能
巧妙结构设计，解决来料料片软硬度不一致导致的传输卡料损坏问题
自动组件转换，可兼容不同来料片的清洗
高自动化，可实现同侧进出或左进右出洗料，减少人为因素影响，
在便于跟踪洗料效果的同时降低二次污染
产品参数
| 产品型号 | AW-ZP04 | AW-ZP04A |
| 外形尺寸(含报警灯塔) | L1700×W1100×H1950(mm) | |
| 反应仓尺寸(铝合金) | L550×W320×H65(mm) | L450×W350×H50(mm) |
| 等离子体发生器 | 频率13.56MHz,功率0-600W/1000W可调，自动阻抗匹配 | |
| 气路系统 | 制程气体(O₂/Ar/H₂),MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调 | |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接) | |
| 兼容料片尺寸 | 长150-300(mm),宽30-100(mm) | 长105-155(mm),宽30-80(mm) |
| 清洗效率 | 4道4片，UPH大于500片/小时 | 4道8片，UPH约800片/小时 |
| 针对产品工艺 | 集成电路IC封装工艺 | LED封装工艺 |
| 备注 | 可按客户需求弹性设计 | |
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