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产品分类
产品简介
产品参数
| 产品型号 | AW-LP01 |
| 外形尺寸(不含报警灯塔) | L350×W350×H70(mm) |
| 腔体尺寸 | 350(L)×350(W)×70(H)mm(可根据客户要求进行调整) |
| 等离子体发生器 | 频率13.56MHz,功率0-600W/1000W可调，自动阻抗匹配 |
| 载盘尺寸 | L200×W120×H20(mm)(可根据客户要求进行调整) |
| 真空系统 | 油泵/干泵可选，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计 |
| 气路系统 | MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件 |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接) |
| 备注 | 可按客户需求弹性设计 |
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